虽然芯片工厂问题不大，有帝都提供，王逸可以省下几十亿。

但里面的生产线，光刻机等设备，都要王逸自己解决。

这些才是最贵的，保守估计后续投入也得一百五十亿起步。

像是光刻机，2010年阿斯麦就推出了euv光刻机twinscan    nxe:3100。

前世，2013年阿斯麦又推出euv光刻机    nxe:3300。

不过这些先进的euv光刻机，王逸就不考虑了，不现实，不可能对内地企业出售的。

前世中芯国际订购了一台euv光刻机，花了亿美金，钱都付了，最后因为帝国阻挠，阿斯麦也迟迟没有发货。

相反，内地企业能买到的，也就是落后很多代的duv光刻机。

比如2016年出的nxt    1980di，是前世内地企业买到的最先进光刻机之一，也是中芯国际主力机型。

更先进的duv光刻机nxt:2000i，都买不到，更别说nxt:2050i。

nxt    1980di原本用于制造300nm-38nm制程，二重曝光后可以达到19nm制程。

中芯国际，华力等企业，都是用nxt    1980di二重曝光，量产28-19nm的芯片。

同样，要用    nxt:1980di来制造14nm、7nm的芯片，那就得靠多重曝光技术，对厂家的技术要求非常高，量产芯片的成本也很高。

最初，台积电用nxt:1980di来制造7nm芯片，效果很不理想，良品率低，成本高，最后还是换上euv光刻机，才实现了完美的7nm。

但中芯国际买不到euv光刻机，只能硬着头皮用nxt    1980di进行三重曝光，四重曝光，甚至五重曝光。

幸好梁老能力突出，在多重曝光领域造诣颇深，硬是推出n+1、n+2工艺，用nxt    1980di这种落后的光刻机，实现了14nm、10nm，甚至7nm。

梁老的两重曝光技术，不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上，成本也不会增加太多。

使得中芯国际的28nm工艺大规模量产，能满足大多数芯片需求。

14nm需要三重曝光，凭借梁老的技术，良品率和成本也能保证。

可7nm制程，就要用nxt    1980di四重曝光，技术方面梁老都能解决，但良品率和成本就不好说了。

巧妇难为无米之炊。

拿着nxt    1980di当euv3300用，真是太强人所难。

不过，在国产光刻机突破之前，这也是迫不得已的办法。

当然，2011年nxt    1980di还没有发布。

王逸当下能买到的光刻机型号，是2009年推出的nxt：1950i，和今年刚推出的nxt：1960bi。

其实1950i/1960bi/1970ci/1980di，这四款光刻机都是同样的光源系统，单次曝光都在38nm以上，多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm，甚至7nm。

后续的nxt：1960bi、1970ci、1980di，不过是在nxt：1950i进行了部分升级，提高了良品率和精度，本质上相差不大。

像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，很多都是用的nxt：1950i！

毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候，nxt：1980di光刻机才开始量产！

7nm之前的制程，三星台积电用的都是1950i、1960bi、1970ci等老型号。

只要不量产7nm，都没压力。

同样，王逸的12英寸晶圆厂，若是买到nxt：1950i和1960bi，也能从明年的28nm，一直用到22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，甚至7nm。

但今年刚出的1960bi不太现实，估计阿斯麦不卖。

不过老款的1950i运作一下，还是有希望的。

当下欧美对国内的封锁限制，还不是那么严密。

若是趁机出手，多订一批，那后续就高枕无忧了。

哪怕溢价买，都不成问题！

王逸记得，前世euv光刻机要亿美金，1980di要7200万美金。

而当下的1950i估计会便宜一些。

为此，王逸拿出手机，开始查数据。

果然，一台1950i光刻机要4000万欧元，5470万美元，也就是亿人民币。

进上十台，就是35亿。

20台就是70亿！

为什么一次性进这么多？还不是怕做大了被锤！

当然趁着当下风头不紧，抓紧多进一些！

这样后续产能扩大，都够用，一直用到2018年1980di都不再禁售。

当然，不能只压阿斯麦，小日子那边也得看看。

原本光刻机三巨头阿斯麦，尼康，佳能。

如今佳能已经放弃高端，停留在55nm，再往上完全干不动。

阿斯麦不但在duv光刻机领域独领风骚，而且开始发力euv光刻机，进军7nm以下的制程。

而尼康还在苦苦坚持，高端领域没希望，可是中低端领域还是没问题的。

比如尼康的nsr-s620d和阿斯麦的1950i，性能差不了多少，多重曝光后也可以做10-28nm，甚至7nm。

而且价格更便宜，只要3000万美元。

英特尔当下的订单，都是以尼康nsr-s620d为主，少量阿斯麦1950i。

同样，王逸也可以两边押注。

若是阿斯麦出货不多，进展不顺利，尼康这边也完全能用。

直到7nm以下，尼康才彻底掉队的。

28-10nm，尼康还是可以一战的。

王逸有了计较，等芯片工厂这事稳了，得找时间去一趟尼康和阿斯麦，谈一下光刻机订单。