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第九五一章 双喜临门(2 / 5)

作品:《我的一九八五

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还没离开椰城的孙健突然接到魏建国的报喜电话,非常高兴,做梦也没想到,三月到的间,ASML世称霸光刻机世界的三独技术之一的双工作台系统专利,就被邓国辉院士挂帅、钟德伟教授夏季常教授担任副组长的联合攻关组攻克,并研制成功世界第一台磁悬浮光刻机双工作台系统样机,系统能克服摩擦系数阻尼系数,其加工速度精度明显超越机械式气浮式工作台。

同陈杰、喻学强黄海涛坐午的飞机从椰城赶回京城。

四十九岁的夏季常教授华学国家光电研究所副所长,研究方向就光刻机工作台自动化,当年钟德伟的博士生,次被老师邀请带着研究团队,到京城半导体设备公司参与光刻机悬浮式双工作台系统项目的联合攻关。

世,华学国家光电实验室也参与步进扫描式光刻机的研发项目。

见识了夏季常教授亲自操作光刻机曝光台测光台自动化的现场演示后,孙健才相信第一台光刻机悬浮式双工作台系统样机研制成功了!

G科学家能力众、潜力无限,BSEC才济济,一旦世界一流的实验室配套工厂建成,资金支持,重奖项目组,名利双收,必将激发项目组成员的潜力,ArF准分子激光器项目、5英寸晶圆项目光刻机新镜头项目的研制成功只间问题。

重生者的信心倍增。

“钟顾问辛苦了!”

孙健接见七十九名光刻机悬浮式双工作台系统项目联合攻关组成员,首先慰问攻关组副组长、年龄最的钟德伟教授,为研制第一台光刻机双工作台系统样机立汗马功劳。